三氟化氮檢測儀具體安裝要求

更新時間：2024-06-05 點擊次數(shù)：481

　　三氟化氮檢測儀是一種用于連續(xù)監(jiān)測工業(yè)環(huán)境中三氟化氮(NF3)氣體濃度的重要安全設(shè)備。這種裝置特別適用于半導(dǎo)體制造、平板顯示器生產(chǎn)、光纖和光伏電池制造等高科技行業(yè)，這些領(lǐng)域在生產(chǎn)過程中廣泛使用三氟化氮作為等離子蝕刻氣體和反應(yīng)腔清洗劑。

　　三氟化氮檢測儀具體安裝要求如下：

　　1.選擇安裝位置：

　　安裝位置應(yīng)選擇在可能的泄漏源附近，確保快速準確的檢測到三氟化氮泄漏。

　　設(shè)備應(yīng)安裝在避免直接日光、雨水、以及強電磁干擾的環(huán)境中。

　　安裝高度應(yīng)考慮到三氟化氮比空氣重的特性，通常建議在泄漏源附近的較低位置或地面上方1米左右的位置進行安裝。

　　2.確定安裝方式：

　　固定式三氟化氮檢測儀支持多種安裝方式，包括管道式、壁掛式等。選擇適合特定環(huán)境的安裝方式。

　　對于管道式安裝，確保管道與探測器連接緊密無泄漏，工作壓力需保持在大氣壓的±30%范圍內(nèi)。

　　3.電氣連接與電源要求：

　　確保電源供應(yīng)穩(wěn)定，符合設(shè)備的電壓和電流要求。一般工作電壓為12~36V直流電。

　　連接電纜應(yīng)選擇符合RS485或4～20mA標準的信號傳輸線材，并注意屏蔽效果，以減少外部干擾。

　　4.防爆與安全認證：